Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions präsentiert die mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen UltiDry
Die UltiDry wurde für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt und kombiniert robuste Leistung mit hoher Energieeffizienz und Prozessflexibilität.
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Die UltiDry wurde für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt und kombiniert robuste Leistung mit hoher Energieeffizienz und Prozessflexibilität.
Pfeiffer hat sein Portfolio an Turbomolekular-Vakuumpumpen um die ATH 4506 M ergänzt - das größte Modell der ATH-M Baureihe.
Innovative Technologie von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, ein Mitglied der Busch Group, präsentiert vom 18. bis 21. November 2025 auf der Semicon Europa 2025 in München.